研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.33
 

報告書年度:

2004
 

研究種別:

共同研究
 

テーマ名:

有機金属の積層コンデンサーへの応用研究(第2報)
 

副 題:


 

担当者:

吉井 明人(ナミックス株式会社)
鈴木 憲一(〃)
横山 公憲(〃)
高松 秀機(〃)
北村 昌広(〃)
渡邉 健次郎(研究開発センター)
紫竹 耕司(〃)
佐藤 健(〃)
 

抄 録:

金属有機塩を有機溶剤に溶解させてペーストを作製する有機金属法により、ニッケルの導電性ペーストの開発を行った。昨年度は、酢酸ニッケル四水和物とテトラエチレングリコールが好適な材料であることを見い出し、ペーストを試作した。焼成実験により400℃の低温焼成でニッケルのナノ粒子が析出し、導電性が発現することを明らかにした。本年度は、より高温で処理した焼成膜の特性、ペーストの形態や焼成のメカニズムについて調査し、さらに積層セラミックコンデンサーへの適用の可能性について検討した。
 

緒 言:

近年、電子機器の小型軽量化に伴い、それに実装されるチップ部品も小型化、薄型化が進展している。チップ部品の一つである積層セラミックコンデンサー(MLCC)についても同様であり、誘電体層と同様に内部電極層もより薄膜化が要求されている。
このような背景から、薄膜形成を目的として有機金属法によるニッケルの導電性ペーストについて研究した。
一般に導電性ペーストは金属粒子を高分子バインダーと溶剤に分散させたもので、上述の薄膜化に対しては、湿式化学還元法やCVD法等による金属粒子の微粒化が盛んに研究されている。ニッケルでは、現在0.2μm径の粒子が開発されているが、高温焼成後も電極としての特性を保ったサブミクロンの薄膜を形成することはまだ困難である。
一方で有機金属法は、金属有機酸塩を有機溶媒に溶解させてペースト化するという容易な方法であり、焼成により金属が析出してくるので、予め金属の微粒化処理をする必要がないのが特徴である。
本研究では、この有機金属法により、非アミン系溶剤を用いた有機ニッケルペーストの開発を行ってきた。尚、ここで非アミン系溶剤としているのは、焼成時の有害ガスの抑制を考慮してのことである。
昨年度は、酢酸ニッケル四水和物とテトラエチレングリコールが原料として好適であることを見い出した。本年度は主として、
(1)高温で焼成した膜の特性
(2)ペーストの形態と焼成挙動の調査
(3)積層コンデンサーへの適用の可能性
について、検討を行った。
 

資 料:

共同1−有機金属(第2報).pdf(約151.40 Kバイト)