研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.28
 

報告書年度:

1999
 

研究種別:

信越スーパーテクノゾーン推進研究
 

テーマ名:

レーザを利用した表面改質及び微細加工工程の省エネルギー化研究
 

副 題:

エキシマレーザによるPTFEの表面改質
 

担当者:

吉田 正樹(研究開発センター)
吉野 武美(研究開発センター)
 

抄 録:

PTFE(Poly(tetrafluoroethylene))表面の親水性、接着性を向上させるために純水、ホウ酸水溶液を処理剤としてArFエキシマレーザにより表面改質を行い、接触角測定、めっき密着性等により評価を行った。
 

緒 言:

PTFEは、現存するポリマーの中でもっとも誘電率、誘電正接が低く高周波回路に用いる基板材料としての期待が大きい。
 しかしながら、その化学的安定性の高さから他の素材との密着性が低い等、加工性が低いために一部の限られた製品にしか使われてこなかった。
 そこで本研究ではArFエキシマレーザを用いPTFE表面に官能基を導入することにより加工性の向上を図る。
 前年度まではヒドラジンを用いることによってPTFEに親水性を与えめっきが出来る状態まで出来ていた。しかしヒドラジンは活性が高く、取り扱いに注意が必要であることから、より安全かつ取り扱いが楽な純水及びホウ酸水溶液を処理剤に用い処理表面の接触角等についての評価、更にめっき面の評価を行った。
 

資 料: