研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.27
 

報告書年度:

1998
 

研究種別:

信越スーパーテクノゾーン推進研究
 

テーマ名:

レーザを利用した表面改質及び微細加工工程の省エネルギー化研究
 

副 題:

エキシマレーザによるPTFEの表面改質
 

担当者:

山田 敏浩(素材応用技術支援センター)
吉野 武美(研究開発センター)
 

抄 録:

 PTFE(Poly(tetrafluoroethylene))表面の親水性、接着性を向上させるため、ヒドラジン、メタクリル酸を処理剤としてArFエキシマレーザにより表面改質を行い、接触角測定、ESCAによる表面分析、メッキ密着性等により評価を行った。
 

緒 言:

 PTFE(Poly(tetrafluoroethylene))は現存するポリマーの中で最も誘電率、誘電正接が低く、高周波回路に用いる基板材料等への期待が高い。しかしながら、その化学的安定性により、他の素材との密着性が低い等、加工性に劣るため一部の用途でしか実用化されていない。
 そこで本研究では、ArFエキシマレーザを用いてPTFE表面に官能基を導入することにより加工性の向上を図る。
 本研究ではヒドラジン、メタクリル酸を処理剤として表面改質を行い、接触角等について評価を行った。
 

資 料: