研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.33
 

報告書年度:

2004
 

研究種別:

先導的戦略研究調査
 

テーマ名:

MEMSプロセス技術の調査研究
 

副 題:


 

担当者:


坂井 朋之(研究開発センター)
宮口 孝司(中越技術支援センター)
佐藤 健(研究開発センター)
丸山 英樹(県央技術支援センター加茂センター)
須貝 裕之(県央技術支援センター)
小林 豊(研究開発センター)
岡田 英樹(下越技術支援センター)
 

抄 録:

MEMSプロセス技術についての調査研究を行った。本研究では、MEMSプロセスやその応用製品に関する研究開発の動向、マーケットの将来予測についての調査をした。また、この技術に関する県内の大学や企業の状況についても調査をした。さらに、MEMSの基本的なプロセスの把握を目的として、光通信用導波路とCNT−FED電子銃の試作を行った。
 

緒 言:

「MEMS」とは Micro Electro Mechanical System の頭文字を並べたもので、文字通り微小電気機械システムのことである。数mm四方の小さなチップの上に、メカニカルに動く部分と、それを制御する電子回路がコンパクトに納められたもので、いくつもの部品や装置を使った大きなシステムと同じ働きをすることができる。その製造方法は、基本的には半導体製造プロセスを基盤としているが、メカニカルな部分があることから、より立体的かつ複雑な形状を含むのが特徴である。このために基板平面上の線幅ルールでは、半導体ICほどの微細化は進んでいないが、より深く掘るというような特殊な技術が含まれている。
 MEMSの応用例として代表的なものは、光通信用デバイス、各種センサ類あるいはインクジェットヘッドなどがあるが、将来はエネルギーや医療など、幅広い産業への応用が期待されている。
本研究では、このMEMSプロセス技術に注目し、技術やマーケットの動向、大学や企業の研究状況を調査した。さらに代表的なMEMS製品を実際に試作することにより、MEMSの基本的なプロセスについての理解を深めた。
 

資 料:

プレ研1−MEMS.pdf(約352.86 Kバイト)