研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.29
 

報告書年度:

2000
 

研究種別:

信越スーパーテクノゾーン推進研究
 

テーマ名:

レーザを利用した表面改質及び微細加工工程の省エネルギー化研究
 

副 題:

エキシマレーザによるPTFEの表面改質
 

担当者:

吉田 正樹(研究開発センター レーザー応用研究室)
吉野 武美(        〃         )
 

抄 録:

PTFE(Polytetrafluoroethylene)表面の親水性、接着性を向上させるためにホウ酸水溶液を処理剤としてArFエキシマレーザにより表面改質を行った。その後、改質した表面に無電解銅めっきを施し、エッチング処理により不要な部分を除去した回路を作り、PTFE回路基板の作成に成功した。
 

緒 言:


 

資 料: