研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.43
 

報告書年度:

2014
 

研究種別:

実用研究
 

テーマ名:

簡易な非接触粗さ測定法の研究
 

副 題:


 

担当者:

木嶋 祐太(中越技術支援センター)
斎藤 雄治(中越技術支援センター)
 

抄 録:

表面粗さは,測定物の表面性状(“つるつる”や“ざらざら”)を表すものである。一般的に表面粗さは,先端が尖ったダイヤモンド製の触針(プローブ)で測定物の表面をならうことにより,表面の細かい凹凸を計測して求める。
しかし,樹脂のように傷がつきやすい測定物に対して上記の触針でならうと表面に傷をつけてしまう。このため,非接触による表面粗さ測定への需要が高まっており,非接触式の粗さ測定機も市販されているが,きわめて高価で普及が遅れている。
さて,物体表面に光ビームを当てたとき,その反射光は表面粗さが大きいほど広がる。この反射光の強度分布は理論上,ガウス分布(正規分布)となることが知られている。このため,反射光の強度分布をガウス曲線で近似して,その曲線の標準偏差で表面粗さを評価する方法が栗田ら1)2)により提案されている。
本研究は,上記方法により反射光の広がりから表面粗さを非接触で測定するための簡易な測定システムを試作して実験を行ったものである。
 

緒 言:


 

資 料:

8_H25報告書(ノート4)(非接触粗さ).pdf8_H25報告書(ノート4)(非接触粗さ).pdf(約720.04 Kバイト)