研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.27
 

報告書年度:

1998
 

研究種別:

信越スーパーテクノゾーン推進研究
 

テーマ名:

レーザを利用した表面改質及び微細加工工程の省エネルギー化研究
 

副 題:

エキシマレーザによる水晶振動子の周波数調整
 

担当者:

毛利 敦雄(中越技術支援センター)
星野 公明(〃)
須貝 裕之(〃)
牧野 斉(〃)
吉野 武美(研究開発センター)
 

抄 録:

 水晶振動子の周波数調整にKrFエキシマレーザの適用を試みた。振動子の銀電極にエキシマレーザを照射すると,銀電極は溶融,蒸発の過程を経て,熱加工により除去される。このため,銀電極を薄く削る加工では,周波数変化量のばらつきは大きかった。一方,水晶の表裏の銀電極を一定面積,完全に除去する加工では,周波数調整が可能である事がわかった。
 

緒 言:

 水晶振動子は情報通信機器、産業機器、民生用機器等に周波数の基準素子として広く利用されており、近年では機器の小型化、コストダウンに伴い生産性、精度の向上が強く求められている。
 水晶振動子の製造工程では、銀電極を基礎蒸着した後、蒸着、スパッタ等の方法で、目標周波数に微調整する作業を行っている。ここで、KrFエキシマレーザを照射して周波数調整を行う事が可能となれば、周波数調整を大気中で行うことができ、生産性、省エネルギーに資することになる。ここでは、KrFエキシマレーザを使用した、水晶振動子の周波数調整の可能性を検討することを目的として研究を行った。
 

資 料: