研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.25
 

報告書年度:

1996
 

研究種別:

共同研究
 

テーマ名:

レーザー利用によるハードディスク表面検査の高速化に関する研究
 

副 題:

金属鏡面上の欠陥に対するレーザビームの散乱に関する考察
 

担当者:

長谷川 直樹(研究開発センター)
野中 敏(〃)
稲村 正(〃)
 

抄 録:

 金属鏡面上の欠陥に対するレーザビームの散乱を把握するため、光の反射、散乱を計算機上でシミュレートするプログラムを作成した。入射角等の条件を変え、各種欠陥に対する散乱シミュレーションを行った。その結果、レーザビームを斜方入射させることにより凹凸欠陥が判別しやすくなることを見出した。散乱光分布測定用試験器を作成し、実測した結果、この方法の有効性が確認できた。
 

緒 言:

 ハードディスク等の記録媒体が高密度化する中で、媒体表面の欠陥に対する許容度はますます厳しくなってきている。欠陥は全ての製造工程で発生する可能性があり、その形状、大きさは様々である。これらを検出、判別するための検査機があるが、市場の要求を満たすまでには至っていない。
 そこで、各種欠陥の最適な検出方法および欠陥種別の判別方法を確立し、ハードディスク表面検査の性能向上を図ることを目的に、金属鏡面上の欠陥に対するレーザビームの散乱分布を把握するための基礎研究を行った。
 まず、光線追跡法を原理とした光の反射、拡散をシミュレートするプログラムを作成し、モデル化した欠陥について、各種条件下におけるレーザビーム散乱の計算機シミュレーションを行った。
 また、散乱光の空間分布を半球状ほぼ全面にわたって測定できる散乱光分布測定用試験器を作成し、各種欠陥の散乱光分布を実測した。
 凸欠陥としてラテックス粒子、凹欠陥として金属球の圧痕を欠陥モデルとしてシミュレーションを行った結果、レーザビームを斜方入射させ、入射方向に戻ってくる後方散乱光を比較することにより、凸欠陥と凹欠陥の判別がしやすくなることを見出した。
 散乱光分布測定用試験器により実測した結果、この凹凸判別方法の有効性が確認できた。
 

資 料: