研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.38
 

報告書年度:

2009
 

研究種別:

競争型受託研究
 

テーマ名:

電子線リソグラフィーを用いた三次元微細形状創成技術の研究
 

副 題:


 

担当者:

宮口 孝司(研究開発センター)
佐藤 健(中越技術支援センター)
平石 誠(研究開発センター)
丸山 英樹(下越技術支援センター)
樋口 智(研究開発センター)
斎藤 博(研究開発センター)
坂井 朋之(企画管理室)
 

抄 録:

表面性状の評価を標準化するため,標準面実量器が必要とされている。本研究では,標準面実量器を実現するために,電子線描画装置を用いた三次元微細形状作製技術を開発した。具体的には,電子線の多重露光手法を適用し,フォトレジストに等高線加工による擬似三次元形状を形成し,ニッケル電鋳およびナノインプリントを行うことで,標準面実量器の作製プロセスを確立した。
 

緒 言:

経済のグローバル化,製品の高機能化に伴い,製品や機能部品表面性状の定量化の重要性はますます高まっている。今日,表面性状は主に,表面の代表的な直線上で測定した凹凸形状から算出した表面粗さで規定されているが,異方性や,機能性を十分に評価することができない。評価の際,最も問題とされている要因は,測定方式や演算法の違いによる機種間でのばらつきである。そこで標準となる三次元ランダム表面形状を定義する試みが行われている。本研究では,粗さパラメータから算出された,ランダム性を有する標準面の形状データを現実の実量器に変換する手法の一つとして,電子線描画装置による擬似三次元形状作製法の開発,電鋳によるニッケル型の作製方法,およびナノインプリントによる複製方法を検討した。
 

資 料:

電子線リソグラフィーを用いた三次元微細形状創成技術の研究.pdf(約537.64 Kバイト)