研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.31
 

報告書年度:

2002
 

研究種別:

提案公募型技術開発研究
 

テーマ名:

光プローブの自律走査と平面データムの内蔵を特徴とする表面凹凸形状測定機
 

副 題:


 

担当者:

柳 和久(長岡技術科学大学 工学部 機械系 教授)
黒蔵 忠(長岡技術科学大学大学院 工学研究科)
根本 賢太郎(〃)

 

抄 録:

面領域を走査する座標系として直交座標に加えて極座標の実用性を追求し、光プローブ変位計の異常値補正と最適なサンプリング条件を導出するためのソフトウェア開発に力点を置いた。
 

緒 言:

工業製品の高機能化・高性能化に伴って,機械加工部品の図面指示による要求項目は多様化し,また数ナノメートルという高い精度が要求されるようになっている.このような超高精度で部品の幾何特性仕様を検測するためには,恒温室のように測定環境が整った場所に設置された大掛かりな防振設備付の高価で特殊な光学式測定機を使用する必要が生じる.
 本研究では,簡単な構造でも外乱の影響を受けにくく,多様な測定要求項目に対応できる,高精度な非接触ポイントセンサ相対走査型の表面凹凸形状測定機の開発を目的とした。
 

資 料:

提案6−光プローブ.PDF(約153.90 Kバイト)