研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.42
 

報告書年度:

2013
 

研究種別:

その他
 

テーマ名:

超微細成形技術によるシート型微小針アレイの開発(第3報)
 

副 題:


 

担当者:

研究開発センター 佐藤 健、樋口 智、山田 敏浩、伊関 陽一郎
下越技術支援センター 斎藤 博
 

抄 録:

医療機器産業では,患者の肉体的・精神的負担の軽減などの観点から,注射針を使用したときの
痛みや皮膚ダメージなどの軽減が求められている。
本研究では,プラスチック成形技術を高度化した超微細成形技術を用いて,無痛・低侵襲のシート型中空微小針アレイを開発する。
MEMS プロセスで,多数の微小突起をシリコン基板上に一括形成し,これをマスター基板として電鋳した後,超精密切削加工機で穴あけなどの微細加工を付加することによって成形金型を作製する。
マスター基板の作製について,昨年度まではドライエッチングでシリコン基板の表面に微小突起を形成する方法を検討した。1),2)今年度は,MEMS 分野において,主に高アスペクト比構造体の形成に用いられる化学増幅型の厚膜フォトレジスト(以下,単にレジストと呼ぶ)を利用した突起形成プロセスを検討したので報告する。
 

緒 言:


 

資 料:

22_H24報告書(ノート13).pdf(約368.19 Kバイト)