研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.37
 

報告書年度:

2008
 

研究種別:

実用研究
 

テーマ名:

非導電物の表面形状評価に関する研究
 

副 題:


 

担当者:

馬場 大輔(上越技術支援センター)
宮口 弘明(   〃      )
皆川 森夫(   〃      )
 

抄 録:

非導電性で無色透明である,合成石英レンズ,PDMS(ポリジメチルシロキサン)の表面形状をレーザ顕微鏡を使用して,評価した。
 

緒 言:

 各種材料の表面を微細に観察する場合,表面粗さ計,光学顕微鏡,走査型電子顕微鏡(SEM)等の設備を使用する場合が多いが,これらの方法にはそれぞれ,触針が接触して表面に傷がつく可能性がありまた触針形状の影響を受ける,焦点深度が浅いため観察視野範囲全体に焦点を合わせることが難しく無色透明な材料の観察が困難である,試料が帯電するため導電性を有しない試料では金属蒸着等の前処理をしないと観察が難しい,等の短所がある。
 レーザ顕微鏡は試料にレーザ光を照射して反射受光量を測定するものであり,レーザ光をスキャンすることにより各測定点の反射光の強さを計測し,そのデータを集めて観察画像を得る。この方法では非接触で観察視野全体に焦点が合った画像を得ることができ,また特別な前処理なしにそのまま観察可能である。
 本研究では当所設備のレーザ顕微鏡(キーエンス社製VK-9500,主な仕様は表1参照,以下「顕微鏡」という)を使用して,非導電性で無色透明である,合成石英レンズ,PDMS(ポリジメチルシロキサン)の表面形状を評価した。
 

資 料:

非導電物の表面形状評価に関する研究.pdf(約418.28 Kバイト)