研 究 報 告 書

報告書名:

工業技術研究報告書
 

報告書番号:

No.45
 

報告書年度:

2016
 

研究種別:

その他
 

テーマ名:

イオンミリング法による電子顕微鏡観察用断面試料の作製
 

副 題:


 

担当者:

県央技術支援センター 林 成実
県央技術支援センター 斎藤 雄治
 

抄 録:

走査電子顕微鏡(以下SEM)による試料の
断面観察分析を行う際,試料の前処理が重要で
ある。通常,組織や形状を確認するための断面
作製法は,樹脂包埋後,機械式研磨を行ってい
る。しかし,めっき,塗装などの表面処理材や
複合材料では,ダレや欠けなどが発生し観察分
析ができない場合がある。また,吸水や汚染さ
れやすい試料では研磨が難しい。これらの問題
を解決する方法として,イオンミリングによる
断面作製がある1)。これは,機械的な力を加え
ずにアルゴンイオンビームを使用し,断面を加
工する方法である。
本報告では,機械式研磨や刃物による切断で
は観察が困難な,表面処理した金属,紙やプラ
スチックなどの軟質材料の断面を弊所所有のイ
オンミリング装置で作製し,SEM 観察分析を
行った事例を紹介する。
 

緒 言:


 

資 料:

h27_24.pdfh27_24.pdf(約7,361.87 Kバイト)